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光電センサ |
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製品ラインアップ：マッピングファイバユニット HPF-T030 |
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■ 概要 |
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マッピング用ファイバユニットHPF-T030は超狭光芒、開口角±1.5°以下を実現しました。光の回り込みが少なく、ウエハの2枚重ね、斜め差しの検出が可能です。
迷光も極力抑えた光学設計を実現し、ウエハ表面の乱反射の影響を軽減できます。
また、光軸は機械軸で調整して出荷、煩わしい光軸調整作業を省きます。 |
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■ 特長 |
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開口角±1.5°以下の狭光芒
開口角は±1.5°以下で10mmピッチで収納されている300mmウェハのマッピング検出でも光の回り込みの影響が少なく、
安定した検出が可能となります。 |
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機械軸合わせ後、出荷
狭光芒であるがゆえに調整が非常にシビアになり、光軸調整に多大な工数、労力を掛けることになってしまいます。
HPF-T030は機械軸±0.8°以内で光軸調整後、出荷致します。調整時に掛かる調整工数が飛躍的に削減できます。
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■ アプリケーション |
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チューニングは設定時の作業者のばらつきを軽減できるHPX-AGシリーズの%チューニングを推奨します。
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■ ラインアップ |
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■ 外形図 |
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■ 関連製品 |
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