光電センサ｜真空ファイバ HPF-Vシリーズ【アズビル株式会社】

光電センサ

製品ラインナップ：真空ファイバ HPF-Vシリーズ

■ 概要

ビューポートが設置できない真空中に設置可能な耐真空ファイバです。
真空側と大気側を光結合器で光伝送を行い、シールを確保します。

■ 特長

	・	350℃連続使用が可能です。
	・	長距離レンズ、サイドビューレンズも350℃にて連続使用が可能です。
	・	真空内で使用する製品に気密性はなく、耐真空度に制約がありません。
	・	ファイバアンプHPX-AGシリーズと組み合わせてガラスガラスウエハ、ガラス基板などの安定検出が可能です。

・

光結合器・取り付け方法

			光結合器によって真空と大気をシールし、ファイバの光伝送を行います。光結合器はリークテストを全数実施し、出荷しています。

■ アプリケーション

・真空チャンバー内のウェハ有無検出		・真空チャンバー内のガラス基板有無検出

■ ラインナップ・概要仕様

■ 外形図

	HPF-VT07

	HPF-VD07

	HPF-VT09

	HPF-VA01

	HPF-VJ03

	HPF-VL05

	HPF-VL06

■ カスタマイズサービス

ご希望の形状、ケーブル長さなどカスタマイズのご要望を承ります。
レンズなどアクセサリー類の特殊仕様も設計致します。

■ 関連製品

ようこそ！様