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光電センサ |
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製品ラインアップ：アンプ内蔵形漏液センサ HPQ-D |
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■ 概要 |
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アンプ内蔵形漏液センサHPQ-Dシリーズは、主に半導体製造装置 や液晶製造装置（前工程）において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うセンサです。
センサの厚みは約10mmでますます小型化する装置にも十分設置が可能です。また、漏液発生後、いち早く装置を立ち上げるためワンタッチでセンサヘッドを着脱できる機構となっています。
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■ 特長 |
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メンテナンスフリーの光学式漏液センサ
液体の非検出時(入光)と検出時(遮光)のレベル差を十分し、安定した検出が可能です。
感度調整は不要で、取り付け後すぐにご使用いただけます。
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| ・ |
酸・アルカリ系薬液やIPA、純水、フロリナート、ガルデンなど
防爆対応が必要な場合にはファイバタイプをご選定ください。
フロリナートは3M社、ガルデンはソルベイソレクシスの登録商標です。
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| ・ |
PFAで本体とケーブルを保護
ブラケットは酸・アルカリ系薬液ではPVC、有機溶剤系ではPFA（一部、SUS）を準備しております。
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| ・ |
簡単メンテナンス
漏水検出後の復帰作業も従来の検知帯や吸紙式と違い、検出面の拭き取りで再立ち上げが迅速に行えます。
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| ・ |
動作表示灯付き
センサの状態を本体側で確認が可能です。
正常時には緑LED点灯、異常時には赤LED点灯となります。
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■ ラインナップ |
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| 形 番 |
仕 様 |
| HPQ-D11 |
NC、NPN、PVCプラケットタイプ |
| HPQ-D12 |
NC、PNP、PVCプラケットタイプ |
| HPQ-D21 |
NC、NPN、PFAプラケットタイプ |
| HPQ-D13 |
NO、NPN、PVCプラケットタイプ |
| HPQ-D23 |
NO、NPN、PFAプラケットタイプ |
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| 形 番 |
仕 様 |
| HPQ-B01 |
PVCプラケット（10ヶ入り） |
| HPQ-B02 |
PFAプラケット（10ヶ入り） |
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※ HPQ-D11/12/21につきましてはケーブル5m(PFAチューブ部2m)タイプもございます。
※ NOタイプはULには対応しておりません。
※ 一部、UL対応予定のものございます。詳細につきましては弊社販売員にお問い合わせください。 |
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■ 外形寸法図 |
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HPQ-Dシリーズ |
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■ 仕様 |
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| 形番 |
HPQ-D□1 |
HPQ-D□2 |
| 電源電圧 |
DC 12〜24V±10%(リップル10%以下) |
| 消費電流 |
30mA以下 |
| 取り付け面 |
塩ビ板、ステンレス銅板等 注1 |
| 標準検出液体 |
水 注2 |
| 動作形態 |
正常時オン、漏液時オフ |
| 出力形態 |
NPNトランジスタ出力、オープンコネクタ |
PNPトランジスタ出力、オープンコネクタ |
| 制御出力 |
開閉電流 |
20mA以下(抵抗負荷) |
| 出力耐電圧 |
30V、出力短絡保護回路付 |
| 残留電圧 |
1V以下(開閉電流50mA時) |
| 投光素子 |
赤外発光ダイオード |
| 表示灯 |
正常時緑色点灯、漏液時オレンジ点灯 |
| 使用温度範囲 |
-25〜+50℃ |
| 使用湿度範囲 |
35〜80%RH(ただし、結露のないこと) |
| 保護構造 |
IP67(IEC規格) |
| 回路保護 |
電源逆接続保護回路、電源投入時誤動作防止回路 |
| 材質 |
本体：PFA
ケーブル：PFA被覆 プラケット：PVCもしくはPFA(SUS) |
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注 取り付け面の色や表面状態によって検出が不安定になる場合があります。記載以外の液体を使用する場合には、事前に動作をご確認いただくか弊社販売員までお問い合わせください。 |
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