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画像センサ |
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計測原理：POC（位相限定相関）とは？：POCを使うとこんなことが |
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■ 位置補正の方法に合わせた結果出力が可能 |
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並列計測（Parallel Measurement） |
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4つのマークの個々のXYズレ量を同時に計測します
上基板、下基板とも位置補正できる場合使用します
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差分計測（Differential Mesurement） |
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一方のマーク位置を基準として、もう一方のマークのXY差分ズレ量を計測します（例：●を基準として○の差分ズレ量を計測）
どちらか一方の基板だけで位置補正を行う場合使用します |
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精密角度計測（Precision Angle Mesurement） |
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対角の2つのマーク（例：上基板の左下●と右上●）のXYズレ量から得られる精密なθズレ量と任意な位置（カメラ視野外可）に設定した回転中心でXYズレ量を計測します
回転ズレ補正を行う場合使用します |
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■ 汎用VGAカメラを使用してメガピクセルカメラ以上の高精度計測を実現 |
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計測領域サイズの1/1000から/10000の計測再現性
※ 超高速なので、プリアライメント（粗調整）の整備・工程が不要
※計測バラツキが小さいので、複数回計測（平均）が不要
（5×5mm領域の場合、0.5〜5.0ミクロン）
高精度計測は品質の向上だけではなく、生産性向上にもつながります
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■ 計測時間が高速かつ一定 |
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演算時間 |
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XY計測：2.6msec
(映像取り込み時間含みません カメラ機種・伝送モードによって16.7から50msec必要です)
将来のタクト向上にも余裕で対応が可能です
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計測領域サイズ、位置ズレ量の大小に関らず一定の時間で演算を行います |
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前後の工程のタクトに影響を与えません |
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■ 濃淡変化、欠け・カスレに強い |
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金属膜腐食などによる濃淡変化・コントラストの逆転（ポジネガ反転）があっても、計測に影響ありません |
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欠け・カスレによる画像情報の欠落により類似度が低下しても、計測領域内に類似した画像情報がなけれが、高い計測精度を維持できます |
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■ アライメントマーク不要 |
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回路パターンなど固有の模様での計測が可能です |
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基板スペースを無駄なく有効に使用できます |
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一般的にアライメントマークより回路パターンの方が高精度な結果が得られます |
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