アズビル株式会社(旧:株式会社 山武) コンポクラブ
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よくあるご質問(FAQ)

気体流量計

禁油処理の基準を教えてください。
μFセンサチップに水が付着した場合はどうなりますか。
[Nm3/h]のN、[sL/min]のsってなんですか。
計測精度のRDってなんですか。
表示単位を[g/min]や[Kg/min]で表示できますか。
屋外での使用は可能ですか。
コンプレッサーエアーの流量を計測したいのですが、どんな流量計がありますか。
マスフローコントローラMQVの仕様の必要差圧と動作差圧の違いはなんですか。
マスフローコントローラMQVで、動作差圧が300kPa以下とありますが、300kPaを超える差圧があるとどうなるのですか。
マスフローコントローラMQVは制御を行わず単なる流量計として使用可能ですか。
マスフローコントローラ複数台を1台の電源で制御したいのですが。
マスフローメータCMSを使用する場合のAC電源アダプターはありますか。
マスフローメータCMSは負圧で計測できますか。
絶縁ガス(SF6)の流量は測れますか。
マイクロフロー製品で一酸化炭素を含むガスを計測できますか。
アセチレンガスは、測れますか。
水素、ヘリウムは空気モデルと同じ製品で計測できますか。
計測したい流量レンジはエアー200L/min。
流量レンジだけで見るとCMS200とCMG250とMCF008が使えそうですが、どういうポイントで選定すればいいのですか。
酸素用と空気用ではどのような違いがあるのですか。
混合ガスの流量制御をしたいのですが、計測可能ですか。
出口側開放で測定できますか。
校正方法について教えてください。
CMGシリーズで都市ガス,LPガスの流量測定を行いたいのですが、1台で計測可能ですか。
可燃性ガスの計測で注意点はありますか?
停電した際に積算値は保持されますか。

禁油処理の基準を教えてください。
部品の残留油分濃度が75mg/m2以下となるように管理しております。
マイクロフロー製品の禁油処理は、高濃度酸素中で接ガス部に付着している残留油分が自然発火しないことを基準としております。

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μFセンサチップに水が付着した場合はどうなりますか。
指示不良となり故障に至る場合があります。乾燥しても精度のズレの原因となることがあります。

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[Nm3/h]のN、[sL/min]のsってなんですか。
N(ノルマル) 1気圧・0℃の状態に換算した気体の流量を表します。
s(スタンダード) 当社では1気圧・20℃の状態に換算した気体の流量を表します。
両方とも、質量流量計に限って使われる単位で、タービンや膜式などの体積流量計と対比するときに意味を持ちます。
なお、マイクロフロー製品の現在の表記はN→(normal)、s→(standard) としております。

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計測精度のRDってなんですか。
RDはReading(リーディング)の意味です。読み値に対する誤差をあらわします。指示値の○% も同じ意味です。
計測機器の精度表示方法として他にはF.S があります。F.S は機器の使用で定められている計測レンジの何% かをあらわしています。読み値が何であってもその% が全域で適用されます。
例えば0-20L/minの精度が 3%だとした場合、
3%RD 指示値 20L/minでは 20±0.6L/min (指示値の 3%誤差)
  指示値 2L/minでは 2±0.06L/min (指示値の 3%誤差)
3%F.S 指示値 20L/minでは 20±0.6L/min(指示値の 3%誤差)
  指示値 2L/minでは 2±0.6L/min (指示値の 30%誤差)
となります。

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表示単位を[g/min]や[kg/min]で表示できますか。
エア管理用メータMCFはkg/hの表示選択が可能です。他機種では標準では用意しておりません。

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屋外での使用は可能ですか。
マスフローメータCMS、マスフローコントローラMQVは、防水、防滴仕様ではありませんので、 直接水がかかる環境には設置することはできません。また使用している部材は紫外線により変色劣化するため、直射日光があたる場所には設置できません。 屋外に設置する場合には、雨、ほこり、直射日光などを防ぐケースの中に収納してください。
ガス流量モニタCMGはIP54(JIS C 0920)の防滴構造にはなっておりますが、直射日光を受けるような屋外設置に対する耐候性は考慮しておりません。 日除け、雨除けの対策を施す必要があります。
大流量マスフローメータCML、マイクロフロー式渦流量計MVFは屋外設置可能です。(CML:IP65防水構造、MVF:IP67防浸構造)
エア管理用メータMCFは屋内設置を前提としたIP65の防水構造になります。
塩害等は別途ご相談ください。

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コンプレッサーエアーの流量を計測したいのですが、どんな流量計がありますか。
エア管理用メータMCF、大流量マスフローメータCML、マイクロフロー式渦流量計MVF、エア管理用フローメータAIRcubeなどがあります。

  MCF CML MVF AIRcube
流量特性 熱式質量流量計 熱式質量流量計 渦式体積流量計に温圧補正センサを一体化 差圧式体積流量計に温圧補正センサを一体化
最大流量レンジ(0.7Mpa時) 0〜12000L/min
(normal)
0〜1600m3/h
(normal)
0〜12478m3/h
(normal)
0〜10000m3/h
(normal)
計測範囲 50:1 1280:1 100:1 35:1
精度 ±3%FS ±2%RD(最大流量から1/20まで)
±3%RD(1/20〜1/160)
±3.1%RD(使用圧力0.7MPa時、最大流量から1/44まで) ±3%RD(最大流量から1/10まで)
対エア品質 ダスト、油分、水分除去必要 ダスト、油分、水分除去必要 ダスト耐久性はCMLより優れていますが、油分、水分は除去が必要 水・油など耐性強い

流量計ご選定におかれましては、所有されているコンプレッサーの容量や種類、計測される箇所、配管系統によって適合機種は違います。
コンプレッサーから発生する空気(圧縮エアー)にはゴミ、水分、油分(給油式の場合)が含まれています。 マイクロフローセンサを用いた流量計は、センサが直接気体に露出していますので、ゴミ、水分、油分などがセンサに付着すると計測誤差が大きくなったり計測できなくなる故障の要因になります。
フィルタ、ミストセパレータの設置をお願いします。
* 機種によってフィルタの必要能力は異なりますので詳細は販売員までご相談ください。
* コンプレッサーから発生する脈動が流量計測に誤差を生じさせることがあります。ご注意ください。

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マスフローコントローラMQVの仕様の必要差圧と動作差圧の違いはなんですか。
必要差圧とはそのレンジの最大流量(20L/minレンジであれば20L/min)を流すのに必要な差圧です。 動作差圧とは制御そのものが可能な差圧範囲です。
MQVは差圧が大きくなると圧力差の力によってバルブが開かなくなる場合があります。そのため動作差圧上限をカタログ、スペックシートの動作差圧範囲に記載しております。 また、動作差圧の下限は、使用圧力と制御したい流量によって変わってきます。制御したい流量に対して、「バルブ全開時の流量と差圧の関係」(スペックシートご参照)に記載の差圧をご確認ください。

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マスフローコントローラMQVで、動作差圧が300kPa以下とありますが、300kPaを超える差圧があるとどうなるのですか。

制御に影響が出る場合があります。最悪、MQVに内蔵されている比例ソレノイドバルブが開かなくなり制御動作いたしません。

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マスフローコントローラMQVは制御を行わず単なる流量計として使用可能ですか。
アクチュエーターを全開モード(本体で設定可能)にすることによってメーターとして使用することが可能です。 ただし連続して使用すると全開のバルブの発熱により計測に影響を与えることがありますので詳細は販売員までお問い合わせください。

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マスフローコントローラ複数台を1台の電源で制御したいのですが。
MQVは電源と入出力がアイソレーションされているので1台の電源で複数台の制御が可能です。 旧製品CMQはアイソレーションされていませんので、回り回路が発生しCMQのSP値、PV値がふらつくことがあります。電源はCMQ1台に対し1台ご使用ください。

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マスフローメータCMSを使用する場合のAC電源アダプターはありますか。
CMSは定格電圧がDC12〜24Vになります。AC電源をご使用の場合は、ACアダプタ接続ハーネス(別売)+ACアダプタ(別売)を用いれば電源供給が可能です。

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マスフローメータCMSは負圧で計測できますか。
CMSのSUSモデル、SUS316モデル、水素ヘリウムガス対応モデルは、使用圧力範囲が−0.07〜+1.0MPaです。30kPa(絶対圧)以上あれば負圧でも計測可能です。
30kPa(絶対圧)を下回ると、製品が規定している仕様の精度を満たせなくなります。
さらに10kPa(絶対圧)以下になりますと、センサのヒータエレメント消費電力が急激に減少し、未実験ですが、10Pa(絶対圧)以下では流量による出力変化はほとんどなくなると推測されます。

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絶縁ガス(SF6)の流量は測れますか。
計測可能ですが、熱が非常に伝わりにくいガスであるため、計測レンジが小さくなります。 弊社では未だ実ガスでの実験は実施しておりませんが、計算上は空気での計測レンジの0.18倍程度となります。
例えば、空気で200L/min(standard)のレンジのマスフローメータを使用した場合、36L/min(standard)までの計測しかできませんのでご注意願います。

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マイクロフロー製品で一酸化炭素を含むガスを計測できますか。
標準品では使用できません。
一酸化炭素用の処理を施して使用できるシリーズがありますので、弊社販売員までお問い合わせください。

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アセチレンガスは、測れますか。
準標準ガスモデルにて対応できますのでお問い合わせください。
液体アセトンの飛来がないことをご確認ください。

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水素、ヘリウムは空気モデルと同じ製品で計測できますか。
水素、ヘリウムは分子量が小さく、熱伝導率が極端に大きいため専用のμFセンサチップを開発して使用しています。 このため空気モデルでは水素、ヘリウムガスの計測・ 制御はできませんのでご注意ください。
混合ガスの場合は比率によって適合モデルが異なります。一般に、水素、ヘリウムを含む混合ガスは、 水素、ヘリウム比率が20%を超えれば水素・ヘリウムモデルを、それ以下であれば空気モデルをご使用いただくようお願いしております。

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計測したい流量レンジはエアー200L/min。
流量レンジだけで見るとCMS200とCMG250とMCF008が使えそうですが、どういうポイントで選定すればいいのですか。

一般産業用ガス・エアー用途向けのCMSは計測範囲の広さや各種機能の豊富さ、 燃焼用ガス・エアー用途向けのCMGは低圧損、工場エアーの省エネ用途のMCFは価格に特長がございます。詳細は製品一覧をご覧ください。

 
CMS200
CMG250
MCF008
計測範囲
100:1
10:1
50:1
圧力損失
500Pa(1次圧50kPa)
30Pa(1次圧50kPa)
5.8kPa(1次圧50kPa)
価格
90,000円
60,000円(低圧モデル)
35,000円
精度
±3%RD RDは読み値
±4%RD RDは読み値
±3%FS
対応ガス
ガス種切換設定で可能
ガス種切換不可
空気/窒素のみ

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酸素用と空気用ではどのような違いがあるのですか。
酸素用と空気用との一番の違いは、酸素用は流路内を禁油処理していることです。
高濃度の酸素では、流路内に油分がありますとそれを燃料として発火する恐れがあります。また高濃度酸素下で一端発火しますと流路の金属表面を急激に酸化し燃焼に至る危険性もあります。
なお、酸素用モデルを酸素以外の気体に使用した場合は、他のガスに含まれている油分などで汚染される可能性があるため、再び酸素の計測の用途には使用しないでください。

<ガス種によるモデルの対応(CMSシリーズ)>
計測震度とSI値の関係

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混合ガスの流量制御をしたいのですが、計測可能ですか。
混合ガスの場合、ガス種、流量レンジによって可否が分かれます。
ガス組成比と流量を確認し、お問い合わせください。
計測可能なガスの場合、ガス組成補正係数(C.F値)を設定することで計測できます。C.F値は、製品本体キー操作にて設定が可能です。(機種によって異なりますので詳細はお問い合わせください)
なお、C.F値は理論上の計算値であり、仕様書で保証している精度とはなりませんのでご了承ください。

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出口側開放で測定できますか。
出口側が大気圧でも問題ありません。
ただし、機種によっては、流量計の出口側(例:ネジ部)で乱れの影響を受けることがありますので、10cm程度の配管をつけて大気開放されることを推奨いたします。

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校正方法について教えてください。
弊社にて有償校正を承っております。従来の工場引き取り校正に加えて、現場での校正も実施しております。 気体流量の校正方法については、求めるレベルにより何通りか分かれます。下記ページご参照ください。
気体流量計校正サービスへ

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CMGシリーズで都市ガス,LPガスの流量測定を行いたいのですが、1台で計測可能ですか。
1台では計測できません。個々に設置していただくことになります。
CMGシリーズは、都市ガス等低圧で使用されることを前提に圧損を小さくするため、メイン流路にオリフィスとその差圧により導かれるバイパス流計測としております。
製品の精度仕様を満足するために、ガス種毎に適したバイパス比、センサー感度特性曲線による出荷調整を行っております。 そのため、各ガス毎に、空気用、都市ガス用、プロパン用、ブタン用と形番を分けております。
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可燃性ガスの計測で注意点はありますか。
水素、メタン、プロパン、ブタンのように、酸素または空気と混合して点火すると燃焼する可燃性ガスの計測に使用する場合、以下の内容にご注意ください。
マイクロフローセンサはヒータ部を加熱して流量計測をしています。ヒータ温度が発火源にならないような回路構成にしており、誘導雷サージなどの対応も行っております。 ただし万が一、対応部品の故障などが発生した状態で、誘導雷サージなどが機器に入った場合、センサが発火源となる恐れもあるため、燃焼範囲に入る混合気での使用は認めておりません。
またバーナのように燃焼用ガス配管から大気につながる管路において、燃焼の停止など弁の遮断時に遮断弁より下流側の管路内はガス100%の状態から大気との置換により可燃範囲に入ることがあります。 このような計装に使用する場合、流量計を遮断弁の上流側に設置してください。これにより、燃焼時、停止時ともにセンサ周囲が燃焼範囲に入ることを防げます。
バーナ以外の一般的な計装においてもセンサ部に対象ガス以外の気体が混ざると、その間は計測誤差が大きくなりますので、逆止弁の設置や遮断弁の上流に流量計設置を推奨します。

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停電した際に積算値は保持されますか。
機種によりどこまで記憶しているかは異なります。

マスフローメータCMS、エア管理用メータMCF:
最大で停電直前の10分間分の積算が失われます。CMSは10分ごとにメモリ(EEPROM)に積算値を書き込みます。 停電したときには最大10分間+停電中の流量は積算に反映されないことになります。 それ以前の積算値は記憶しています。

ガス流量モニタCMG:
小数点以下2桁まで表示するモデルでは最大で1m3、小数点以下1桁まで表示するモデルでは最大で10m3の積算が失われる可能性があります。 小数点以下2桁まで表示するモデルでは1m3ごとに、小数点以下1桁まで表示するモデルでは10m3ごとにメモリに積算値を書き込みます。 いずれのタイプも積算値が増えなくても、前回の書き込みから1時間経過するとメモリへの書き込みを行います。

マイクロフロー式渦流量計MVF:
MVFは停電しても停電直前の積算値が保持されます。停電など電源遮断時にはメモリ記憶値と表示積算値が異なる場合はメモリへの積算値の書き込みを行った後に電源遮断します。 これ以外に下記のタイミングで積算値のメモリに書き込みを行っています。
50A : 10m3の位の数値が変化したとき
80〜150A : 100m3の位の数値が変化したとき
またいずれの口径もメモリ書き込みの流量に満たない場合は前回書き込みから1時間が経過したときに積算値をメモリに書き込みます。

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