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よくあるご質問（FAQ）
気体流量計
禁油処理の基準を教えてください
μFセンサチップに水が付着した場合どうなるの？
[Nm3/h]のN、[sL/min]のsって何？
コンプレッサーに流量計を取付けたいが大丈夫か？
必要差圧以下でも動作圧力以上なら制御できますか？
製品の保護構造について
表示単位を[g/min]や[Kg/min]で表示できますか？
マスフローメーターCMSを使用する場合のDC電源アダプターはありますか？
絶縁ガス（SF6）の流量は測れますか？
気体用マスフローメーターの使用温度は0℃〜となっていますが、周囲温度がマイナスになった場合はどうなりますか？
できるだけ小さい流量を測りたいが各々の製品の測定可能下限値は？
アセチレンガスは、測れますか？
負圧では計測可能？
水素、ヘリウムは空気モデルと同じ製品で計測できないの？
計測したい流量レンジはエア200L/min。流量レンジだけで見るとCMS200とCMG250の両方が使えそうだけど、どういうポイントで選定すればいいのですか？
マスフローコントローラ複数台を1台の電源で制御したいのですが。
酸素用と空気用ではどのような違いがあるのですか？
混合ガスの流量制御をしたいのですがどのようにしたら良いですか？
マスフローコントローラーCMQ-Vは制御を行わず単なる流量計として使用可能ですか？
出口側開放で測定できますか？
レセプトとの酸素・窒素の照合について流量計設置でどの様に解決できるのですか？
校正方法について教えてください。
CMGシリーズで都市ガス，LPガスの流量測定を行いたいのですが、1台で計測可能ですか？
マスフローコントローラーCMQ-Vで、動作差圧が300kPa以下とありますが300kPa以上の差圧があるとどうなるのですか？
計測精度のRDってなんですか？
測定する流体に粉体が混入している場合、周囲温度が80℃の場合、測定は可能ですか？
可燃性ガスの計測で注意点はありますか？
禁油処理の基準を教えてください
残留油分濃度が75mg/m2です。
μFセンサチップに水が付着した場合どうなるの？
指示不良となります。ただし、乾燥すれば復旧する可能性はありますが、水の種類によって異なると思われます。 （水に含まれるゴミが乾燥後に残るケースがあるため）
[Nm3/h]のN、[sL/min]のsって何？
N（ノルマル） 1気圧・0℃の状態に換算した気体の流量を表します。
s（スタンダード） 1気圧・20℃の状態に換算した気体の流量を表します。
両方とも、質量流量計に限って使われる単位で、タービンや膜式などの体積流量計と対比するときに意味を持ちますが、国際的計測単位（SI）の呼称としては認められておりません。 よって今後の表記はL/min（standard）、m3/h（normal）に改めていきます。
コンプレッサーに流量計を取付けたいが大丈夫か？
本流量計は、センサが直接気体に露出していますので、ゴミ、水分、油分などがセンサに付着すると計測誤差が大きくなったり計測できなくなる故障の要因になります。
フィルタ、ミストセパレータの設置をお願いします。
推奨ミストセパレータ能力 ： 固形物 0.01μm，油分 0.1mgf／Nm3 （弊社形番：MFF100シリーズ）
必要差圧以下でも動作圧力以上なら制御できますか？
はい。
必要差圧とはバルブを全開としてそのレンジの最大流量（20LMレンジであれば20LM）を流すのに必要な差圧です。
動作差圧とは制御そのものが可能な差圧範囲です。つまり、動作差圧以上の差圧が確保されていれば、最大流量は無理としても流せる流量の範囲にて制御が可能とご理解ください。
製品の保護構造について
CMS、CMQ-Vは特に保護構造は有しておりません。CMGはIP54（JIS C 0920)の防滴構造にはなっておりますが、直射日光を受けるような屋外設置に対する耐候性は考慮しておりませんのでひさし、ケース等で覆いをつけることが望ましいと言えます。CML は屋外設置も可能なレベルとしてIP65の防水構造です。
表示単位を[g/min]や[Kg/min]で表示できますか？
できません。質量流量計ですからご指摘の単位があっても良いかとは思いますが、現実には気体ですから重量単位より体積単位の方が理解されやすいようです。
マスフローメーターCMSを使用する場合のDC電源アダプターはありますか？
特にCMS用の電源アダプターは用意しておりません。専用コネクター付きハーネスを購入し任意の電源トランスと配線していただけるようお願いします。尚、内部に安定化電源回路を有していますので、DC10.8V〜26.4Vの範囲であれば動作保証しております。
絶縁ガス（SF6）の流量は測れますか？
計測可能ですが、熱が非常に伝わりにくいガスであるため、計測レンジが小さくなります。弊社では未だ実ガスでの実験は実施しておりませんが、計算上は空気での計測レンジの0.18倍程度となります。例えば、空気で200L/min(standard)のレンジのマスフローメーターを使用した場合、36L/min(standard)までの計測しかできませんので、ご注意願います。
気体用マスフローメーターの使用温度は0℃〜となっていますが、周囲温度がマイナスになった場合はどうなりますか？
気体温度が使用温度範囲から外れた場合には、計測精度が悪化します。また-20℃を下回る場合には、センサチップのヒータ能力が不足してきますので、計測そのものが出来なくなります。
できるだけ小さい流量を測りたいが各々の製品の測定可能下限値は？
各々の製品群の一番小さな流量レンジモデルでご紹介します。
CMQ-V（コントローラ）200mL/minモデル
：
最小表示値1mL/min 精度保証内最小表示値2mL/min
CMS（メータ）500mL/minモデル
：
最小表示値1mL/min 精度保証内最小表示値5mL/min
CMG（メータ）4m3/hモデル
：
最小表示値0.1m3/h 精度保証内最小表示値0.5m3/h
CML（メータ）160m3/hモデル
：
最小表示値0.2m3/h 精度保証内最小表示値1m3/h
アセチレンガスは、測れますか？
特殊モデルにて対応できますのでお問い合わせください。
液体アセトンの飛来がないことをご確認ください。
負圧では計測可能？
可能です。ただし弊社の実験では、絶対圧にて約200Pa 以下になりますと、計測ができず（センサのヒータの熱が温度センサに伝わらないため）センサアラームが発生します。
流量計測ができるのは絶対圧で1kPa以上と考えられます。
水素、ヘリウムは空気モデルと同じ製品で計測できないの？
水素、ヘリウムは分子量が小さく、熱伝導率が極端に大きいため専用のμFセンサチップを開発して使用しています。このため空気モデルでは水素、ヘリウムガスの計測・ 制御はできませんのでご注意ください。
混合ガスの場合は比率によって適合モデルが異なります。一般に、水素、ヘリウムを含む混合ガスは、水素、ヘリウム比率が30％を超えれば水素・ヘリウムモデルを、それ以下であれば空気モデルをご使用いただくようお願いしております。
計測したい流量レンジはエア200L/min。流量レンジだけで見るとCMS200とCMG250の両方が使えそうだけど、どういうポイントで選定すればいいのですか？
大きな違いは、差圧、価格、計測範囲です。燃焼用ガス・エア用途向けに開発された CMGは低圧損、一般産業用ガス・エア用途向けに開発されたCMSは計測範囲の広 さや各種機能面に特長があります。詳細は製品一覧をご覧ください。
CMS200
CMG250
差圧
500pa
100〜200pa
価格
80,000円
48,000円
計測範囲
1/100 max
1/10max
対応ガス
ガス種切換設定で可能
ガス種切換不可
マスフローコントローラ複数台を1台の電源で制御したいのですが。
CMQはアイソレーションされていませんので、回り回路が発生しCMQのSP値、 PV値がふらつくことがあります。電源はCMQ1台に対し1台ご使用ください。
CMQ-Vは電源と入出力がアイソレーションされているので1台の電源で複数台の制御が可能です。
酸素用と空気用ではどのような違いがあるのですか？
酸素用と空気用との一番の違いは、酸素用は流路内を禁油処理していることです。高濃度の酸素では、流路内に油分がありますとそれを燃料として発火する恐れがあります。また、いったん発火しますと自己発熱が燃焼速度を高め流路の金属の表面をも急激に酸化し爆発に至る危険性もあります。なお、酸素用モデルを酸素以外の気体に使用した場合は、再び酸素の計測の用途には使用しないでください。
＜ガス種によるモデルの対応＞
混合ガスの流量制御をしたいのですがどのようにしたら良いですか？
標準対応ガスであれば、各ガスの混合比率をご連絡いただければ、そのCF値をご回答しますので、値を本体に書き込ませることが可能です。
マスフローコントローラーCMQ-Vは制御を行わず単なる流量計として使用可能ですか？
アクチュエーターを全開モード（本体で設定可能）にすることによってメーターとして使用することが可能です。
出口側開放で測定できますか？
出口側が大気圧でも問題ありません。ただし、機種によっては、流量計の出口側（例 ： ネジ部）で乱れの影響を受けることがありますので、10cm程度の配管をつけて大気開放されることを推奨いたします。
レセプトとの酸素・窒素の照合について流量計設置でどの様に解決できるのですか？
流量計をつけますと、一日での総使用量が分かります。レセプト用の電算機から同一の日での患者さんへの酸素の総使用量をはじき出すことにより、この差異が分かります。これらのものをデータに基づくことにより、レセプト反映忘れの発見を容易にし、注意喚起することができます。また、ご承知の通り、酸素等ガス配管は一年中ガス圧力がかかっており、どこかに隙間がありますと酸素の使用の有無に拘わらず、常時そこから漏れていることになります。配管からの漏れの発見にも役立ちます。
校正方法について教えてください。
弊社工場（神奈川県藤沢市）にて有償校正を承っております。また、お客様にて校正用の基準器（仮称B）を別途購入いただく方法もございます。ご使用中の流量計（仮称A）と直列に接続し、計測値の器差を確認します。基準器Bはご使用中のものと同形番を推奨致します。また流体は窒素が一般的です。
CMGシリーズで都市ガス，LPガスの流量測定を行いたいのですが、1台で計測可能ですか？
1台では計測できません。個々に設置していただくことになります。CMGシリーズは,都市ガス等低圧で使用されることを前提に圧損を小さくするため、メイン流路にオリフィスとその差圧により導かれるバイパス流計測としております。製品の精度仕様を満足するために、ガス種毎に適したバイパス比、センサ感度特性曲線による出荷調整を行っております。そのため、各ガス毎に、空気用、都市ガス用、プロパン用、ブタン用と形番を分けております。
マスフローコントローラーCMQ-Vで、動作差圧が300kPa以下とありますが300kPa以上の差圧があるとどうなるのですか？
CMQ-Vに内蔵されている比例ソレノイドバルブが圧力で押され、開かないため動作 いたしません。
計測精度のRDってなんですか？
RDはReading ： リーディング（読み値）の意味です。
読み値に対する誤差を表します。たとえば、CMS0020（SUSモデル）を使用して10L/minを計測した場合の計測精度は、±3％RDになるので、 10L/min ×0.03 ＝ 0.3L/min となります。RDとは反対に、精度の表記にはFS（フルスケール）がありますが、この場合、 ±3％FSでは 20L/min ×0.03 ＝ 0.6L/min となります。
測定する流体に粉体が混入している場合、周囲温度が80℃の場合、測定は可能ですか？
センサで直接気体を計測しますので、粉体がセンサに付着すると計測誤差が大きくなったり、計測できなくなる故障の要因になります。よほどセンサに影響しない小さく少ない場合を除き、基本的には粉体との混合気には使用できません。
また、高温場所での取り付けは推奨いたしかねます。電解コンデンサにおいて温度が10℃上がると精度が半減するといわれております。また、電気部品の寿命も短くなります。
ただし、本流量計は質量流量計ですので、同一配管上であれば温度・圧力にかかわらず、同じ計測および制御が可能です。粉体を混合する手前側、また、周囲温度が使用温度範囲内である場所 にて気体流量を測る、ということが可能かご検討をお願い申し上げます。
可燃性ガスの計測で注意点はありますか？
水素、メタン、プロパン、ブタンのように、酸素または空気と混合して点火すると燃焼する可燃性ガスの計測に使用する場合、以下の内容に注意ください。 マイクロフローセンサはヒータ部を加熱して流量計測をしていますが、ヒータ温度が発火源にならないように電流制御しています。しかし誘導雷サージなど万が一の場合には発火源となる恐れもあるため、燃焼範囲に入る混合気での使用を認めておりません。
またバーナのように燃焼用ガス配管から大気につながる管路において、燃焼の停止など弁の遮断時に遮断弁より下流側の管路内はガス100％の状態から大気との置換により可燃範囲に入ることがあります。このような計装に使用する場合、流量計を遮断弁の上流側に設置してください。これにより、燃焼時、停止時ともにセンサ周囲が可燃性雰囲気になることを防げます。
バーナ以外の一般的な計装においてもセンサ部に対象ガス以外の気体が混ざると、その間は計測誤差が大きくなりますので、遮断弁の上流に流量計設置を推奨します。
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