アズビル株式会社(旧:株式会社 山武) コンポクラブ
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半導体・FPD業界

安定した生産を支えるために半導体業界にもとめられる高い性能と信頼性。各工程で必要される制御・フィールド機器、センサと幅広いソリューションをご紹介いたします。

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現場支援 省エネ支援 省エネ制御

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透明体・ガラス基板 ウエハ 基板・テープ 検出・計測

■ 半導体

工程
用途
前工程
HPQ-D 酸・アルカリ系薬液の漏液検出 HPQ-D
HPF-D040 有機溶剤系の漏液検出 HPF-D040
HPF-D045LF ウェハ有無検出 HPF-D045LF
HPF-D028F/T ウェハ有無検出 HPF-D028F/T
HPF-V 真空環境下でのウェハ有無検出 HPF-Vシリーズ
HPF-T029 水滴の付着したウェハ有無検出 HPF-T029
UNAM 水滴の付着したウェハ有無検出 UNAM
HPF-T029 薬液雰囲気でのウエハなどの有無検出 HPF-T029
HPQ-T 密閉薬液タンクなどの液面レベル検出 HPQ-T/HPF-T032
HPF-D027 洗浄槽などの液面レベル検出 HPF-D027/D033
ウエハのアライメント 万里眼 ウエハのアライメント 万里眼
K1G ウエハのアライメント K1G
HPF-D028 ウェハノッチ位置決め HPF-D028
HPF-T020 ウェハ飛び出し検出 HPF-T020
HPF ウエハノッチ確認 HPF-T021
DMC50 チャンバー内の高精度温度制御 DMC50
AHC2001 チャンバー内温度制御の高度化 AHC2001
真空チャンバ内のウエハ中心位置計測 万里眼 真空チャンバ内のウエハ中心位置計測 万里眼
CMS スピンコータでの薬液吐出量管理(タンクへの窒素供給量モニタ) CMS
後工程
HPF-D026 リードフレーム検出 HPF-D026
MCS チップ吸着確認(エアー流量計測方式) MCS
MPC ダイボンダ(共晶)での窒素流量制御 MPC

■ FPD

工程
用途
セル工程
ガラス基板の端辺による位置計測 万里眼 ガラス基板の端辺による位置計測 万里眼
ガラス基板の位置決め 万里眼 ガラス基板の位置決め 万里眼
ガラス基板の位置決め HPX-AG ガラス基板の位置決め HPX-AG
ガラス基板収納力セットの位置計測 ガラス基板収納力セットの位置計測
ガラス基板、マッピング ガラス基板、マッピング
HPF-V 真空チャンバー内、ガラス検出 HPF-V
HPQ-D 酸・アルカリ薬液の漏液検出 HPQ-D
HPF-D040 有機溶剤系の漏液検出 HPF-D040
HPF-T029 水滴の付着したガラス有無検出 HPF-T029
UNAM 水滴の付着したガラス有無検出 UNAM
HPF-T029 薬液雰囲気でのガラス基板などの有無検出 HPF-T029
HPQ-T 密閉薬液タンクなどの液面レベル検出 HPF-T029
HPF-D027 洗浄槽などの液面レベル検出 HPF-D027/D033
DMC10 焼成炉における省エネ、省配線化 DMC10
アレイ工程
ガラス基板の端辺による位置計測 万里眼 ガラス基板の端辺による位置計測 万里眼
ガラス基板の位置決め:3カメラ又は4カメラ ガラス基板の位置決め:3カメラ又は4カメラ
K1G ガラス基板のアライメント K1G
FPD基板の高精度アライメント 万里眼 FPD基板の高精度アライメント 万里眼
ガラス基板の欠け、ひび検出 ガラス基板の欠け、ひび検出
モジュール工程
LCD基板とFPC基板の貼付け 万里眼 LCD基板とFPC基板の貼付け 万里眼

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