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製品情報

SPG

■ 形番:SPG
■ 品名:サファイア隔膜真空計

■ この製品の特徴:

SPG
隔膜真空計SPGは感圧部にサファイアを使用した静電容量
式圧力センサで高耐久性、高信頼性、高精度を実現した
”国産”の隔膜真空計です。

 ・ストレスがかかる環境下でもゼロ点がシフトしにくい
  -真空‐大気の圧力サイクルに非常に強い構造
  -周囲温度の変化の影響を受けにくい機能を搭載
  -成膜装置で副生成物に影響されにく構造

 ・設備のダウンタイム低減に貢献
  -ワンプッシュで簡単ゼロ点調整
  -短いウォームアップ時間(標準30分)
  -弊社にて校正・調整が可能
  
 ・計器の状態把握が容易
  -モニタリング・操作・設定がパソコンから可能
  -LEDにて簡単モニタリング
  -3点のイベントを搭載

下部の詳細資料のダウンロードより、詳細をご確認くだ
さい。


■ 仕様:

詳しくはカタログ又は製品仕様書をご覧ください。




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