大流量マスフローメータ CMLシリーズは、検出部に 当社独自開発の熱式流速センサ「μFセンサ」を採用 した、高精度・ワイドレンジ・高信頼性を特長とす る気体用の大流量質量流量計です。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される 微細な流速センサと独自の流路設計技術との融合に より、従来にない高精度と160:1のハイレンジア ビリティを実現した製品です。