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製品情報

CMS

■ 形番:CMS
■ 品名:マスフローメータ

■ この製品の特徴:

CMS
気体用マスフローメータ CMSシリーズは、
検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである
「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用
した、質量流量計です。
マイクロマシニング技術を駆使して製作される
超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融
合により、従来にない高精度、ワイドレンジア
ビリティを低価格で実現しました。
また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこ
れからの流量計です。



■ 仕様:

◆SUS/SUS316モデル
形番
CMS9500
CMS0002
CMS0005
CMS0020
CMS0050
CMS200
CMS500
空気流量レンジ
(各ガス種毎の流量レンジは【さらに詳しい情報:気体流量計】をご覧ください
0〜500
mL/min
(standard)
0〜2
L/min
(standard)
0〜5
L/min
(standard)
0〜20
L/min
(standard)
0〜50
L/min
(standard)
0〜200
L/min
(standard)
0〜500
L/min
(standard)
standard とは、20℃・101.325kPa(大気圧)の流量に換算した値です。
対応ガス種類
窒素、空気、酸素、アルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス(13A)、メタン100%、プロパン100%、ブタン100%
ただし、腐食成分(塩素、硫黄、酸など)を含まない乾燥気体であること。
また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること
使用圧力範囲
-0.07〜1.0MPa
本体材質
SUSモデル:SUS303およびSUS316  SUS316モデル:SUS316
定格電圧
DC12〜24V
質量
約800g
約1400g
約2000g

◆水素・ヘリウム対応モデル
形番
CMS0010
CMS0050
CMS0200
CMS0500
CMS1000
CMS2000
流量レンジ 
0〜10
L/min
(standard)
0〜50
L/min
(standard)
0〜200
L/min
(standard)
0〜500
L/min
(standard)
0〜1000
L/min
(standard)
0〜2000
L/min
(standard)
standard とは、20℃・101.325kPa(大気圧)の流量に換算した値です。
対応ガス種類
水素、ヘリウム ただし腐食成分(塩素、硫黄、酸)を含まない乾燥気体であること。
また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること
使用圧力範囲
-0.07〜1.0MPa
定格電圧
DC12〜24V
質量
約800g
約1400g
約2000g

■ さらに詳しい情報はこちら

気体流量計



■ オプション部品

コネクター付きケーブル2m 通信なし用(形番:81446594-005)、5m(形番:81446594-006)
コネクター付きケーブル2m RS-485通信付き用(形番:81446594-007)、5m(形番:81446594-008)

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