小型デジタルマスフローコントローラF4Hは、自社
開発の高感度流速センサ「マイクロフローセンサ」
を搭載することにより、0.3secの高速制御性を実現
した気体用の流量コントローラです。
F4Hでは装置搭載に適したデザインを追求し、新し
いマスフローコントローラのスタンダードを目指し
て使いやすさを追求しました。

F4Hでは装置搭載に必要な機能に絞り込み、小型バ
ルブの採用、基板レイアウトの工夫を行うことで従
来製品比で50%の小型化を実現しました。
これらにより、マスフローコントローラを多数使用
する装置の小型化や、設置スペースの限られている
装置へ搭載する際の設置の自由度が向上しました。

また耐ノイズ性能を強化し、マスフローメーターで
初めて韓国S-mark認証を取得しました。