| 項目 |
F4H9050 |
F4H9200 |
F4H9500 |
F4H0002 |
F4H0005 |
F4H0020 |
| バルブ動作 |
非通電時閉(N.C.) |
| フルスケール流量（空気にて） 注1 |
50.00mL/min |
200.0mL/min |
500.0mL/min |
2.000L/min |
5.000L/min |
20.00L/min |
| ガス種類 注2 |
空気/ 窒素モデル：空気/窒素/ｱﾙｺﾞﾝ/炭酸ガス/水素/ﾍﾘｳﾑ（設定で切替可能）
酸素モデル：酸素/空気/窒素/ｱﾙｺﾞﾝ/炭酸ガス/水素/ﾍﾘｳﾑ（設定で切替可能） |
| 計測 |
繰り返し性（基準条件にて） |
±0.2%
FS ±1digit |
| 精度（基準条件にて） 注3 |
±2% FS |
±1% FS |
| 制御 |
SPとPV値の偏差（基準条件にて） |
±0.1%
FS ±1digit以下 |
| 応答性（標準差圧にて） |
流量ゼロから設定±2% FSで静定するまでの時間：0.3s(TYP.)注10 |
| バルブ出力更新周期 |
1ms |
| 圧力 |
動作差圧範囲
注4 |
周囲温度：
-10≦ｔ≦40℃ |
20〜200kPa |
50〜300kPa |
100〜300kPa |
50〜300kPa |
100〜300kPa 注11 |
180〜300kPa 注11 注12 |
周囲温度：
40＜t≦50℃ |
20〜200kPa |
100〜300kPa |
150〜300kPa 注6 |
100〜300kPa |
150〜300kPa 注11 |
使用不可 |
標準差圧（出口圧=0kPa(gauge)）
注5 |
100kPa |
200kPa |
| 許容入口圧 |
0.5MPa（gauge）以下 |
| 耐圧 |
1MPa（gauge） |
圧力影響
（水平設置、空気にて 100kPaあたり） |
±1.0% FS以下 |
±0.5% FS以下 |
±0.2% FS以下 |
±0.2% FS以下 |
±0.2% FS以下 |
±0.2% FS以下 |
| 温度 |
許容動作温度範囲 |
-10〜+50℃ |
| 許容保存温度範囲 |
-20〜+70℃ |
| 温度影響 |
1℃あたり ±0.2% FS以下 |
1℃あたり ±0.1% FS以下 |
| 湿度 |
許容動作湿度範囲 |
10〜90% RH（結露なきこと） |
| 許容保存湿度範囲 |
10〜90% RH（結露なきこと） |
| 外部リーク |
ヘリウムリークレート |
1x10-8
Pa・m3/s |
流量設定用
アナログ
入力 |
分解能 |
3,000 |
| 入力レンジ |
DC 0〜5V (出荷時設定) 上位通信または専用PCローダにて
DC 1〜5V、4〜20mA に変更可能 |
| サンプリング周期 |
5msec |
| 入力インピーダンス |
電圧入力：1MΩ±10% 電流入力：250Ω±10% |
瞬時流量用
アナログ
出力 |
分解能 |
10,000 |
| 出力レンジ |
DC 0〜5V (出荷時設定) 上位通信または専用PCローダにて DC
1〜5V、4〜20mA に変更可能 |
| 出力更新周期 |
5msec |
| 最大出力 |
110% 以上（120% 以下） |
| 外部負荷抵抗 |
電圧出力時：250kΩ以上 電流出力時：300Ω以下 |
外部接点
入力 |
入力点数 用途 |
1点 「バルブ強制開」「バルブ強制閉」「流量ゼロ補正」「アラームリセット」（設定で変更可能） |
| 相手側回路形式 |
無電圧接点 または オープンコレクタ |
| 接点オフ時端子電圧 |
4.5 ± 1 V |
| 接点オン時端子電流 |
約 0.5 mA |
| 許容オン残留電圧 |
0.8 V 以下 |
| 許容オフ漏れ電流 |
50 μA 以下 |
デジタル
出力 |
出力点数 |
1点 |
| 出力定格 |
DC 30 V、30 mA max（オープンコレクタ非絶縁出力） |
| オフ漏れ電流 |
50 μA max (Vcc=30V
25℃) |
| オン残留電圧 |
1 V max |
| 通信仕様 |
接続可能台数 |
31台 |
| 通信方式 |
RS485（3線式） |
| プロトコル |
CPL通信、Modbus RTU（手配時に形番によりどちらかを選択） |
| 通信速度 |
9600 19200 38400bps |
| 接続 |
RJ45 x 2 |
| 電源 |
定格 |
DC24V 消費電流300mA max |
| 許容電源電圧範囲 |
DC 22.8〜25.2V(リップル5%以下) |
| アイソレーション |
電源回路と入出力回路は絶縁されています。 |
| 接続方式 |
9/16-18UNF , Rc1/4
, 1/4Swagelok相当 , 1/4VCR相当 |
| 取付姿勢 |
水平取付のみ 注8
（トップパネルが下向きにならないこと） |
水平取付（トップパネルが下向きにならないこと）または垂直取付 注7 |
| 主な接ガス部材質 |
標準ガスモデル／酸素モデル：SUS316,フッ素樹脂,フッ素ゴム |
| 質量 |
約700g （継手除く） |
| 適合規格・規制・認証 |
EN61326-1 2013、EN61326-2-3
2013 注9 韓国Ｓ-mark |
| 注1： |
mL/min およびL/minは0℃ 101.325kPa（1気圧）に換算した1分間あたりの体積流量を表します。ガス種類により制御可能な流量レンジが異なります。 |
| 注2： |
塩素、硫黄。酸などの腐食成分を含まない乾燥気体であること。また、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体であること。 |
| 注3： |
基準条件における当社設備との器差です。 |
| 注4： |
動作差圧範囲以下でも動作可能ですが、制御可能な流量レンジが狭くなります。 |
| 注5： |
製品校正時の差圧 |
| 注6： |
電源電圧がDC23.5V以下に下がらないようにしてください。 |
| 注7： |
流れ方向が垂直方向の姿勢では誤差が生じます。機能コード「C-34
：配管姿勢設定」の設定値を設置状態に合わせて変更した後、パラメータコード 「P-23 ：一次圧指定」」のパラメータ値を使用している圧力に合わせて変更してください。 |
| 注8： |
F4H9050 は垂直取付不可 |
| 注9： |
EMC試験中に、±5% FSに相当する指示値や出力値の変動が生じる場合があります。 |
| 注10： |
F4H0020は設定C-36(動作差圧設定)を「０：低差圧」に設定した場合。 |
| 注11： |
電源電圧23.5〜25.2Vの範囲で使用ください。 |
| 注12： |
最大動作差圧は、電源電圧によって変わります。次のグラフをご覧ください。 |
| アルゴンでの動作差圧範囲は250〜300kPaです。 |
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