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製品情報

F7M

■ 形番:F7M
■ 品名:熱式微小液体流量計

■ この製品の特徴:

F7M
気体流量計にて実績が豊富な熱式MEMSセンサと耐食性
の高いフッ素樹脂(配管接続部)・石英ガラス(セン
サ流路)を組み合わせ、従来の計測方式では再現性の
高い計測が難しかった30mL/min以下の微小液体流量の
瞬間流量・積算流量の計測を実現しました。

従来の計測方式と比較すると流体状態の変化(気泡、
脈動、流体温度 等)の影響を受け難く(設定変更を
必要とする場合もあります)、平易に微小流量を
計測できます。

流量を計測することにより、ポンプ回転数の管理、
重量測定、流体供給時間管理等の代替手段から置換
えて、より信憑性の高いデータ管理が可能となります。
またイベント機能を用いて、配管内の空状態や気泡
混入を検知したり、脈動の状態を監視することも
可能です。

※.ご留意事項
本製品は、2018年1月の出荷を予定しております。
詳細につきましては最寄りの支店・営業所に
お問い合わせください。


■ 仕様:

製品形番 F7M9010 F7M9030
計測流量範囲(流体が水(H2O)の場合) 0.1 〜 10 mL/min 0.3 〜 30 mL/min
計測精度 ± 5 %RD(流量レンジの20 %以上)、± 1 %FS(流量レンジの20 %未満)
基準状態* 1における当社液体流量標準を基準とした体積流量に対する器差を表します
繰り返し性 ± 1 %RD(流量レンジの20 %以上)、± 0.2 %FS(流量レンジの20 %未満)
基準状態* 1における当社液体流量標準を基準とした体積流量に対する器差のばらつきを表します
計測可能流体 流路を詰まらせず、石英ガラス・テフロン(PFA)を腐食させず傷つけない流体 水(H2O)以外の流体では計測レンジが変化します
精度・繰り返し性保証対象流体 水(H2O)
精度・繰り返し性保証流量範囲(流体が水(H2O)の場合) 0.2 〜 10 mL/min 0.6 〜 30 mL/min
温度特性(流体と周囲の温度差なしの条件) 流体温度・周囲温度が共に10 〜 35 ℃の範囲内、かつ両者が同一である条件にて 基準状態* 1のときの出力値と比較して0.5 % RD/ ℃以内
流体温度範囲(動作保証範囲) 5 〜 50 ℃(凍結なきこと)
周囲温度範囲(動作保証範囲)
5 〜 50 ℃(結露、凍結なきこと)、輸送・保管温度は5 〜 60℃
周囲湿度範囲(動作保証範囲) 10 〜 90 %RH(結露なきこと)
流体圧力範囲 0 〜 500 kPa
耐圧 700 kPa
取付姿勢 水平取付 または垂直取付(流れ方向は下→上)* 2
直管長 50mm(流体が水(H2O)の場合)
継手部引っ張り強度 30N
駆動電源電圧 DC24V ± 10% 0.7W以下
出力信号 瞬時流量出力:1点 DC1 〜 5 V*3 (外部負荷抵抗:250k Ω以上、最大出力電圧:5.6V)
外部接点出力(オープンコレクタ): 1 点(イベント出力 または 積算パルス* 4)DC30V、30mA 以下
外部接点入力 1点 無電圧接点 または オープンコレクタ
許容ON 接点抵抗 :250Ω以下
許容OFF接点抵抗: 100kΩ以上 
許容ON 残留電圧 :0.8V以下
ON 時端子電流 :0.5mA(接点抵抗250 Ω時)
質量 85g(取付ブラケットを含む、ケーブルは含まない)
保護構造 IP65
適合規格 EN61326-1、EN61326-2-3
製品仕様の詳細は、取扱説明書 詳細編( C P - S P - 1 4 2 1 ) をご覧ください。
* 1  基準状態は、周囲温度、流体温度が共に2 3 ℃である状態です。左記以外の条件につきましてはお問い合わせください。
* 2  垂直取付の場合、水平時と比較して測定値に± 1 % R D 程度の出力シフトが生じます。
* 3  最小計測流量範囲を下回る場合は、出力信号は0 %( 1 V )に固定となります。
    また、計測流量範囲の1 1 5 %( 5 . 6 V )まで出力します。
* 4  パラメータの設定変更は、P C ローダーが必要となります。




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