| 製品形番 |
F7M9010 |
F7M9030 |
F7M9050 |
| 計測流量範囲（流体が水（H2O）の場合） |
0.1 〜 10 mL/min |
0.3 〜 30 mL/min |
0.5 〜 50 mL/min |
| 計測精度 |
± 5 %RD（流量レンジの20 %以上）、±
1 %FS（流量レンジの20 %未満）
基準状態＊ 1における当社液体流量標準を基準とした体積流量に対する器差を表します |
| 繰り返し性 |
± 1 %RD（流量レンジの20 %以上）、± 0.2 %FS（流量レンジの20
%未満）
基準状態＊ 1における当社液体流量標準を基準とした体積流量に対する器差のばらつきを表します |
| 計測可能流体 |
流路を詰まらせず、石英ガラス・テフロン（PFA）を腐食させず傷つけない流体
水（H2O）以外の流体では計測レンジが変化します |
| 精度・繰り返し性保証対象流体 |
水（H2O） |
| 精度・繰り返し性保証流量範囲（流体が水（H2O）の場合） |
0.2 〜 10 mL/min |
0.6 〜 30 mL/min |
1.0 〜 50 mL/min |
| 温度特性（流体と周囲の温度差なしの条件） |
流体温度・周囲温度が共に10 〜 35 ℃の範囲内、かつ両者が同一である条件にて
基準状態＊ 1のときの出力値と比較して0.5 ％ RD/ ℃以内 |
| 流体温度範囲（動作保証範囲） |
5 〜 50 ℃（凍結なきこと） |
| 周囲温度範囲（動作保証範囲） |
5 〜 50 ℃（結露、凍結なきこと）、輸送・保管温度は5
〜 60℃ |
| 周囲湿度範囲（動作保証範囲） |
10 〜 90 %RH（結露なきこと） |
| 流体圧力範囲 |
0 〜 500 kPa |
| 耐圧 |
700 kPa |
| 取付姿勢 |
水平取付 または垂直取付（流れ方向は下→上）＊ 2 |
| 直管長 |
50mm（流体が水（H2O）の場合） |
| 継手部引っ張り強度 |
30N |
| 駆動電源電圧 |
DC24V ± 10％ 0.7W以下 |
| 出力信号 |
瞬時流量出力：１点 DC1 〜 5 V＊3 （外部負荷抵抗：250k Ω以上、最大出力電圧：5.6V）
外部接点出力（オープンコレクタ）： 1 点（イベント出力 または 積算パルス＊ 4）DC30V、30mA 以下 |
| 外部接点入力 |
1点 無電圧接点 または オープンコレクタ
許容ON 接点抵抗 ：250Ω以下
許容OFF接点抵抗： 100kΩ以上
許容ON 残留電圧 ：0.8V以下
ON 時端子電流 ：0.5mA（接点抵抗250 Ω時） |
| 質量 |
85g（取付ブラケットを含む、ケーブルは含まない） |
| 保護構造 |
IP65 |
| 適合規格 |
EN61326-1、EN61326-2-3 |
製品仕様の詳細は、取扱説明書 詳細編（ C P - S P - 1 4 2
1 ） をご覧ください。
＊ 1 基準状態は、周囲温度、流体温度が共に2 3 ℃である状態です。左記以外の条件につきましてはお問い合わせください。
＊ 2 垂直取付の場合、水平時と比較して測定値に± 1 % R D 程度の出力シフトが生じます。
＊ 3 最小計測流量範囲を下回る場合は、出力信号は0 %（ 1 V ）に固定となります。
また、計測流量範囲の1 1 5 %（ 5 . 6 V
）まで出力します。
＊ 4 パラメータの設定変更は、PC ローダーが必要となります。 |
