マスフローセンサ MCS【アズビル株式会社】

製品情報

MCS

■ 形番：MCS

■ 品名：マスフローセンサ

■ この製品の特徴：

マスフローセンサMCSシリーズは、独自開発のマイ
クロフローセンサを使用した高速応答の空気／窒
素用質量流量センサです。
各種理科学機器の空気流量計測、微小電子部品の
吸着確認用途などにお応えします。

■ 仕様：

MCS100
流量レンジ	-3～+3L/min、0～+3L/min、-0.5～+0.5L/min、0～+0.5L/min、0～+10L/min　（at　1気圧、20℃）
計測対象気体	空気／窒素　　ただし検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まないこと。および乾燥気体であること。ダスト、およびミスト（オイルミスト）を含まない清浄気体であること。
出力信号	1～5VDC　（ノンリニア特性）
応答性	5ms以下　（ステップ状の流量変化に対する95%応答）
配管接続	M5めねじ
外形寸法	33.5×10.5×17.0mm
重量	9g
本体材質	PPS樹脂
MCS200
流量レンジ	フローセンサモデル（MCS200S）：0～+500mL、0～+1L、0～+3L/min DC5V駆動モデル（MCS200L）：0～+1L、0～+3L/min チャックセンサモデル（MCS200R）：-500～+500mL、-6～+6L/min　（at　1気圧、20℃）
計測対象気体	空気／窒素　　ただし検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まないこと。および乾燥気体であること。ダスト、およびミスト（オイルミスト）を含まない清浄気体であること。
出力信号	フローセンサモデル、チャックセンサモデル：1～5VDC　DC5V駆動モデル：0.5～3.5VDC　（ノンリニア特性）
応答性	フローセンサモデル、チャックセンサモデル：5ms以下　DC5V駆動モデル：300ms以下　（ステップ状の流量変化に対する95%応答）
取り付け	専用ガスケット（付属）を介してマニフォールドにねじ留め
外形寸法	フローセンサモデル、DC5V駆動モデル：28.2×10.0×12.1mm　チャックセンサモデル：28.2×10.0×11.8mm
重量	5g
本体材質	PPS樹脂