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製品情報

MQV

■ 形番:MQV
■ 品名:デジタルマスフローコントローラ

■ この製品の特徴:

MQV
デジタルマスフローコントローラMQVシリーズは、
検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである
「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用し、
高度なPID制御技術にて比例アクチュエータを駆動
する高性能な気体用質量流量コントローラです。
高速制御、低差圧動作、広い流量制御範囲の実現な
ど、最先端のニーズにしっかりお応えします。
多彩な製品バリエーションをご用意し、お使いいた
だけるアプリケーションがさらに広がりました。


■ 仕様:

◆標準ガスモデル
形番 MQV9005 MQV9020 MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005
標準フルスケール流量

*1
5mL/min
(standard)
20mL/min
(standard)
200mL/min
(standard)
0.5L/min
(standard)
2L/min
(standard)
5L/min
(standard)
standard とは、20℃・1気圧(101.325kPa)の流量に換算した値です。
対応ガス種類 空気/窒素、酸素、アルゴン 空気/窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3、46MJ/m3)、メタン、プロパン、ブタン
ただし、腐食成分(塩素、硫黄、酸など)を含まない乾燥気体であること。
また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること
制御範囲 2 〜 100%FS 1 〜 100%FS
応答性(標準差圧にて) 設定±2 %FS以内に
0.5s(TYP.)
設定±2 %FS以内に
0.3s(TYP.)
(全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時)
定格電圧 DC24V、
消費電流300mA 最大
質量 約1100g 約1200g
形番 MQV0020 MQV0050(B,C) MQV0050(J,K) MQV0100 MQV0200 MQV0500
標準フルスケール流量

*1
20L/min
(standard)
50L/min
(standard)
50L/min
(standard)
100L/min
(standard)
200L/min
(standard)
500L/min
(standard)
standard とは、20℃・1気圧(101.325kPa)の流量に換算した値です。
対応ガス種類 空気/窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3、46MJ/m3)、メタン、プロパン、ブタン 空気/窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス 空気/窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3、46MJ/m3)、メタン、プロパン、ブタン
ただし、腐食成分(塩素、硫黄、酸など)を含まない乾燥気体であること。
また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること
制御範囲 1 〜 100%FS
応答性(標準差圧にて) 設定±2 %FS以内に
0.3s(TYP.)
設定±2 %FS以内に
0.7s(TYP.)
設定±2 %FS以内に
0.3s(TYP.)
設定±2 %FS以内に
0.7s(TYP.)
(全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時)
定格電圧 DC24V、
消費電流300mA 最大
DC24V、
消費電流400mA 最大
DC24V、
消費電流300mA 最大
DC24V、
消費電流400mA 最大
DC24V、
消費電流500mA 最大
質量 約1200g 約3500g 約1200g 約3500g
*1 空気/窒素の場合。各ガス種毎の流量レンジは【さらに詳しい情報:気体流量計】をご覧ください)

◆水素・ヘリウムガスモデル
形番 MQV9020 MQV9050 MQV9500 MQV0005 MQV0010 MQV0050 MQV0200
標準フルスケール流量(水素の場合) 20mL/min
(standard)
50mL/min
(standard)
0.5L/min
(standard)
5L/min
(standard)
10L/min
(standard)
50L/min
(standard)
200L/min
(standard)
standard とは、20℃・1気圧(101.325kPa)の流量に換算した値です。
対応ガス種類 水素、ヘリウム
ただし、腐食成分(塩素、硫黄、酸など)を含まない乾燥気体であること。 また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること。
制御範囲 1 〜 100%FS
応答性(標準差圧にて) 設定±2 %FS以内に
0.5s(TYP.)
設定±2 %FS以内に
0.3s(TYP.)
(全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時)
定格電圧 DC24V、
消費電流300mA 最大
質量 約1100g 約1200g

◆準標準ガスモデル
形番 MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005 MQV0020 MQV0050(B,C) MQV0200 MQV0500
標準フルスケール流量

*1
200mL/min
(standard)
0.5L/min
(standard)
2L/min
(standard)
5L/min
(standard)
20L/min
(standard)
50L/min
(standard)
200L/min
(standard)
500L/min
(standard)
standard とは、20℃・1気圧(101.325kPa)の流量に換算した値です。
対応ガス種類 空気/窒素、アルゴン、炭酸ガス、アセチレン、アンモニア
ただし、腐食成分(塩素、硫黄、酸など)を含まない乾燥気体であること。
また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること
アンモニアは露点マイナス20℃以下の乾燥気体であること
制御範囲 1 〜 100%FS
応答性(標準差圧にて) 設定±2 %FS以内に
0.3s(TYP.)
設定±2 %FS以内に
0.7s(TYP.)
(全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時)
定格電圧 DC24V、
消費電流300mA 最大
DC24V、
消費電流400mA 最大
DC24V、
消費電流500mA 最大
質量 約1200g 約3500g
*1 空気/窒素の場合。各ガス種毎の流量レンジは【さらに詳しい情報:気体流量計】をご覧ください

■ さらに詳しい情報はこちら

気体流量計

■ シリーズ製品

【特集】気体流量計


■ オプション部品

コネクター付きフラットケーブル2m
コネクター付きシールドケーブル5m
ACアダプタ
流量設定用ポテンショメータ
分離表示器オーバーカバー
ローダパッケージ(形番:MLP100A100)

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