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製品情報

MVF

■ 形番:MVF
■ 品名:マイクロフロー式渦流量計

■ この製品の特徴:

MVF
MVFシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである
「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した、新しい
渦式の流量計です。

従来渦式ではありえなかった広い計測範囲(100:1)を実現し、
低流量から高流量域まで幅広い計測をカバーします。
また、温度圧力補正を内蔵しているので、温度計・圧力計を
別途設置する必要はありません。


■ 仕様:

形番 MVF050 MVF080 MVF100 MVF150
口径 50A 80A 100A 150A
流量レンジ(使用圧力により質量流量レンジは異なります) 圧力0.1MPa時 8〜428m3/h(normal) 11〜946m3/h(normal) 15〜1457m3/h(normal) 32〜3135m3/h(normal)
圧力0.3MPa時 9〜854m3/h(normal) 19〜1886m3/h(normal) 30〜2904m3/h(normal) 63〜6249m3/h(normal)
圧力0.5MPa時 13〜1280m3/h(normal) 29〜2826m3/h(normal) 44〜4352m3/h(normal) 94〜9364m3/h(normal)
圧力0.7MPa時 18〜1706m3/h(normal) 38〜3765m3/h(normal) 58〜5799m3/h(normal) 125〜12478m3/h(normal)
圧力0.98MPa時 23〜2302m3/h(normal) 51〜5081m3/h(normal) 79〜7825m3/h(normal) 169〜16838m3/h(normal)
対応ガス種類 空気、窒素、アルゴン、酸素(禁油処理付き形番を選択ください)、炭酸ガス、都市ガス13A、メタン、プロパン、ブタン
その他不活性ガス および各種混合ガスで爆発限界範囲外のガス
体積流量精度 14m3/h以上にて±2%RD 20m3/h以上にて±2%RD 29m3/h以上にて±2%RD 52m3/h以上にて±2%RD
空気の場合、23℃、0.5MPaにおける体積流量にて。使用圧力と流量域により異なります。
温圧補正後の精度 圧力0.5MPa時、75m3/h(normal)にて±3.3%RD 圧力0.5MPa時、110m3/h(normal)にて±3.3%RD 圧力0.5MPa時、157m3/ h(normal)にて±3.3%RD 圧力0.5MPa時、287m3/h(normal)にて±3.3%RD
使用圧力と流量域により異なります。圧力センサはゲージ圧センサを使用しているため大気圧変動誤差は含んでおりません。
最小測定流量(圧力0.1MPa時) 8m3/h(normal) 11m3/h(normal) 15m3/h(normal) 32m3/h(normal)
使用圧力範囲 形番:MVF***1CU*011**00 : 0〜0.1MPa(±2%FS @23℃)
形番:MVF***3CU*011**00 : 0〜0.3MPa(±2%FS @23℃)
形番:MVF***0CU*011**00 : 0〜1.0MPa(±1%FS @23℃)
接続 ウエハ接続
電源 DC24V
質量(kg) 7 8 10 23

■ さらに詳しい情報はこちら

気体流量計



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