気体流量計／気体流量センサ｜マスフローセンサ MCSシリーズ【アズビル株式会社】

気体流量計

製品ラインナップ：マスフローセンサ MCSシリーズ

マスフローセンサMCSシリーズは、当社独自開発のマイクロフローセンサを計測部に使用した高速応答の空気／窒素用質量流量センサです。
温度・圧力の補正機器を必要とせず、20℃、1気圧（101.325kPa(abs)）に換算した空気／窒素の流量を出力します。
理科学機器、電子部品実装装置、産業機器のさまざまな流量計測ニーズにお応えします。

【製品特長】

・	小形・軽量化を実現！
・	高速応答　5ms max.
・	高精度　MCS100、MCS200Rタイプ：±5%FS 　　　　　 MCS200S、Lタイプ：±3%FS
・	正逆流量計測可能（形番にて選定）
・	低消費電力　12mA（24V駆動モデル）　　　　　　　　　 6mA（ 5V駆動モデル）

■ エアマスフローセンサ「MCS100」

小型・軽量化を実現した質量流量計測のフローセンサ。
エアサンプラ、ガス分析器、ガス検知器での吸引流量計測、および電子部品・光学部品の真空吸着確認などの用途に最適です。

【特長】

・	小型、軽量　33.5×10.5×17.0mm、9g
・	高速応答　5ms max
・	高精度　±5%FS
・	高再現性　±1%FS 　（0.2ms周期で取り込み、2s 間で平均処理した場合）

・	設置の容易性設置・配管接続方法：　配管継手のねじ込み方式（M5ねじ）取付姿勢自由、前後直管不要

Model：MCS100接続用流量表示器（MCW400／MCW100）のご紹介はこちら

【形番構成】

	形番	計測レンジ	駆動電圧	計測精度
MCS100シリーズ	MCS100A100	-3～+3L/min	DC12～24V	±5%FS （出力電圧に対する精度）
	MCS100A104	0～+3L/min
	MCS100A108	-0.5～+0.5L/min
	MCS100A112	0～+0.5L/min		±6%FS （出力電圧に対する精度）
	MCS100A120	0～+10L/min	DC24V	±5%FS （出力電圧に対する精度）

【製品仕様】

マスフローセンサ MCS製品ページ

■ マスフローセンサ「MCS200」

より小型・軽量化、省スペース、高精度化　へ

MCS100と比較して、
容積比：1/3、重量比：1/2　と大幅な小型・軽量化を実現しました。（共にコネクタ・ケーブルは含まず）

【特長】

・

設置・配管接続方法
「マニフォールド・マウント」（流路ブロックへの表面装着）を採用！
配管ねじ込みスペース（継手の容積＋配管引き回しスペース）を確保できないアプリケーションに最適。
配管接続部のデッドスペースを無くし、高効率の設置・配管接続を実現。

*設置例
　専用マニフォ－ルドはお客様にてご用意いただく必要があります

・

高精度化
計測レンジごとに最適な流路口径にし、±3%FSを実現。（MCS200S、Lタイプ）

・

2種類のコネクタを採用　ケーブル引出し上向き（垂直取出し）、ケーブル引出し横向き

ケーブル引張り方向とコネクタ抜き出し方向が異なりますので、振動・衝撃が掛かる用途に好適です。

・

2種類の駆動電圧に対応　DC24V（MCS200S、Rタイプ）
　　　　　　　　　　　　　　　　 DC5V（MCS200Lタイプ）

【形番構成】

	形番	計測レンジ	駆動電圧	コネクタ仕様	計測精度	想定アプリケーション
フローセンサモデル	MCS200S9500	0～+500L/min	DC24V	垂直取出し	3%FS （出力電圧に対する精度）	各種理化学機器
	MCS200S0001	0～+1L/min
	MCS200S0003	0～+3L/min
フローセンサモデル（DC5V駆動）	MCS200L0001	0～+1L/min	DC5V	垂直取出し	3%FS （出力電圧に対する精度）	携帯型理化学機器（電池駆動）
	MCS200L0003	0～+3L/min
チャックセンサモデル（デュアルレンジ）	MCS200R9500	-500～+500L/min	DC24V	水平取出し（ロック機構付き）	5%FS （出力電圧に対する精度）	チップマウンタダイボンダテストハンドラ
	MCS200R0006	-6～+6L/min

【製品仕様】

マスフローセンサ MCS製品ページ

■ 計装例（１）

エアサンプラ、ガス分析器、ガス漏れ検知器での吸引流量計測

	・基本計装例

・従来計装に対する利点
　従来計装例

フロートメーター（浮子式）は体積流量を計測しており、吸引する大気の温度変化、気圧変化の影響を受けて、実際の吸引流量が変化し、計測結果（ガス濃度など）に誤差を生じさせます。また、出力を取り出せないため、流量制御ができません。

　本計装

PID流量制御
出力リニアライズ演算

質量流量計測が可能であり、大気の温度・気圧変化の影響を受けず、常時、基準状態での流量を計測できます。
また、再現性の高い出力信号を用いて、ポンプの回転数などの流量制御が実現できます。
尚、アズビル株式会社では廉価なマスフローコントローラMPCも取り揃えております。

■ 計装例（２）

微小チップ部品の吸着確認を流量センサにて実現！

	◇	小形・軽量化を実現し、ノズル近傍への設置が可能です。
	◇	5msec以下の高速応答で高速タクトの吸着確認に対応します。
	◇	質量流量計測のため、吸引圧力変動の影響を受けません。
	◇	アナログ出力により、ノズルの装着有無、ノズル詰まりの検知、ノズルの種別判別が可能です。
	◆	圧力センサでは出力差異が生じ難い極細ノズルを使用した微小部品の吸着確認、光学式センサでは検出できない透明体（LED素子）の吸着確認において、ノズルを通過する流量の変化を確実に検出することが可能です。

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