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気体流量計

製品ラインナップ:デジタルマスフローコントローラ Model:MQV

■ 高レンジアビリティ・高速応答・高精度
デジタル制御回路と比例ソレノイドバルブを融合!

デジタルマスフローコントローラ Model:MQVは、独自開発の超微小熱式流速センサ「μFセンサ」を採用し、高度なPID制御技術にて 比例アクチュエーターを駆動する高性能な気体用質量流量コントローラです。

高速制御、低差圧動作、広い流量制御範囲の実現など、最先端のニーズにしっかりお応えします。

微小流量モデル(5mL/min,20mL/min)登場!

100L/min流量モデル登場!

製品特長

常識を覆す実力値300msの高速制御
全閉状態から設定流量への整定や、設定値変更においても抜群の高速性を発揮します。 また、1次側ガス圧力の変動にも高速で応答し、2次側流量への影響を最小限に抑えます。
■流量特性グラフ
信頼の制御機能!
±0.5%FSの高精度
さらに、高精度モデルでは設定値の±1.0%を実現。
制御範囲は1〜100%FS を広くカバーしています。
標準仕様で低差圧動作を実現
MQVシリーズは、標準仕様のままで50kPaを下回る低差圧の領域でも制御が可能です。燃料ガスなどの低圧供給のアプリケーションにもご利用いただけます。
低圧燃料ガスを制御するアプリケーションに最適!
表示部・操作部を一体化し、多彩な機能と使いやすさを実現
流量表示、積算演算などの機能をはじめ、多彩な機能を標準搭載しました。制御中のSP変更も可能です。
(表示・操作部)
操作しやすい6ボタン
電源回路と入出力回路の絶縁化を実現
PLCなどで複数の本器をアナログ入出力で制御する場合、PLC側のアナログモジュールがチャンネル間非絶縁であっても、共通電源が使用可能です。1台ずつ個別に電源を用意しなくても、回り回路による不具合が生じません。

多彩な機能

■ 主な機能

流量(瞬時/積算)表示機能
機器情報表示機能(1.フルスケール流量 2.ガス種類 3.基準温度 4.機器アドレス の設定状態が確認できます)
流量OK表示・出力機能
バルブ駆動電流表示機能
流量表示単位・小数点位置変更機能
マルチSP設定機能(8点)
バルブ強制開閉機能
バルブ自動遮断機能
ガス種類切替機能
ガス種類設定機能(C.F任意設定)
制御レンジ任意設定機能
SPランプ(勾配)設定機能
スロースタート機能
制御不感帯設定機能
外部スイッチ入力機能(SP変更、ガス種類切替、レンジ切替等が可能)
イベント出力(流量異常、動作モード)
アラーム出力

ご選定のポイント

ガス種/流量レンジからお客様の用途にあったものをお選びください。
製品仕様一覧

デジタルマスフローコントローラ MQV製品ページ

圧力損失

必要な流量を制御するためには、圧力損失以上の差圧が必要です。
バルブ全開時の流量と差圧の関係

関連情報

ローダパッケージMLP100のご紹介、バージョンアップ

フィルターご紹介

フィルターご紹介



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