アズビル株式会社(旧：株式会社 山武) コンポクラブ
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画像センサ

アプリケーション

■ 液晶／PDP製造装置

ガラス基板の位置決め
ガラス基板の位置決め：3カメラ又は4カメラ
ガラス基板の端辺による位置計測：3カメラ
LCD基板とFPC基板の貼付け (2006.02更新)
FPD基板の高精度アライメント (2006.02更新)

■ 半導体製造装置

ウエハのアライメント（ノッチ角度含む）
ロボットハンド上でのウエハのアライメント（ノッチ角度含む）
真空チャンバ内のウエハ中心位置計測 (2006.02更新)

■ 基板

基板とマスクの相対的な位置ずれ計測
基板のスルーホール位置の高精度計測：4カメラ
TAB/COFテープの回路パターンで高速、高精度位置決め (2006.02更新)

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株式会社 山武 は アズビル株式会社 へ社名を変更いたしました。
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